二手 ULTRATECH 1000/ 1100/ 1500 #9111083 待售

来自ULTRATECH的ULTRATECH系列光刻机在光刻加工方面处于世界领先地位，自推出以来一直是行业标准。ULTRATECH 1000/1100/1500都是一代高性能的步进重复扫描设备，非常适合制作大量的小（或大）芯片图样。ULTRATECH晶圆步进器是循环时间短、吞吐量快的步进系统。其运动控制单元采用精密直线电动机进行平滑、精确的运动，确保了高精度的过度扫描。激光扫描仪提供了更精确的扫描焦点，以优化过程，并降低了标线掩蔽的成本。1000/1100/1500还提供了先进的图像处理方法,包括集成的预对齐和后对齐处理,以优化图像传输精度。ULTRATECH还具有带有直观图形用户界面的软件,以便于操作。该机配备大型液晶触摸面板，让操作员轻松调整工艺参数。该软件包括一个集成的配方编辑器，允许用户快速、轻松地创建自定义处理配方。ULTRATECH系列还附有高精度的对齐机，可以让用户准确聚焦和检索关键迭加信息。组成对准工具的磁铁和电动机保证稳定准确的性能.ULTRATECH系列能够以5-10 um的分辨率打印.该机能够以高达每小时250个晶圆的吞吐率，使其适合大批量生产。它的可重复性确保了精确的批对批运动控制。总体而言,ULTRATECH 1000/1100/1500晶圆步进器是一种高性能、经济实惠的光刻工具,用于芯片上的阵列电路。它具有很高的精度和可重复性，保证了每次芯片的精确阵列。