二手 ULTRATECH 1000 #9004070 待售

ULTRATECH 1000晶圆步进器设计用于高分辨率光刻。它采用了1微米的theta级，使用户能够在晶片上非常精确地对准和放置微型图样。1000拥有高度精密的光学设备，配有双相机成像系统和独特的亮度控制，可以自动调节每一张照片层的曝光水平。ULTRATECH 1000配备了超快速谐振扫描仪，可以在晶圆上的不同曝光场之间快速循环。它还采用了一种先进的正在申请专利的图像变换算法，以提高晶圆图像配准的准确性。该算法自动补偿暴露过程中晶圆表面或温度的微小变化引起的失真。此外,步进器还具有获得专利的TurboChromatic双波长LED光源,可用于不同的曝光设置。步进器还配备了其他几个有助于其高精度的功能，如4轴扫描头、可变深度扫描仪和获得专利的Advanced Zone Scanning （AZS）功能。AZS功能使用户能够扫描晶片上的不同区域，从而扩大曝光范围。此外,该单元还带有一个内置校准单元,使用户能够定期调整曝光级别和设置。1000还适合在生产环境中使用，其独特的内置高可靠性同步曝光领域。ULTRATECH 1000晶圆步进器具有几个用户友好的功能，例如基于Windows的视频图形操作软件和图形用户界面。界面使控制曝光设置变得容易，并且可以在单点或多点曝光的情况下操作。此外,步进器还具有专有的同步扩展机,可帮助减少因重迭暴露而产生的粉饰效果。总体而言，1000晶圆步进器是一种先进但用户友好的机器，能够实现高精度的光刻过程。ULTRATECH 1000具有双摄像机成像工具、AZS功能和许多其他功能,是企业级晶圆步进器,可为原型设计、生产和晶圆级封装应用提供卓越的可重复性和分辨率。