二手 ULTRATECH 1000 #9151433 待售

ULTRATECH 1000晶片步进器是一种高性能的光刻设备，设计用于在半导体晶片上绘制小的导电、介电和绝缘特性，薄至0.8 μ m。它采用先进的光子成像技术,在生产环境中实现最高分辨率,同时保持高吞吐量和准确的特征放置。1000使用专有的电子束感应沉积（EBID）系统实现卓越的图像分辨率。该单元对单色光的恒定能量扩散产生垂直积分，选择性地将材料沉积在晶圆上。沉积层形成精确的图桉，精确地再现了光刻中使用的掩模。本机设计精密快速处理大量基材。它具有一个单晶片负载端口，可容纳各种晶圆尺寸和基板。这样可以节省宝贵的生产时间并降低与装载和卸载基板相关的成本。ULTRATECH 1000的自动化能力也有助于其高吞吐量。机械臂可以从负载端口插入和检索晶片，以加快处理周期。晶片放置是利用先进的晶片跟踪技术自动化的，作为完整光刻工作流程的一部分。通过允许并行处理多个晶片,进一步提高了吞吐量并节省了时间。为进一步提高吞吐量，1000配备了先进的控制能力。对所有过程进行电子监控，以检测和纠正机器震动或热膨胀造成的任何不对准。机器振动也可以与刀具的振动控制资产隔离.ULTRATECH 1000也是为了方便操作而设计的。它的自动定位模型考虑了所有的环境影响，以确保所产生的图桉与光刻中使用的掩模相同。此外，该设备还配备了直观、菜单驱动的用户界面，便于设置和操作。总体而言，1000是在半导体晶片上生产小型、高度精确特征的强大且高度先进的工具。凭借卓越的成像技术、快速的自动化和灵活的控制能力，它为用户提供了卓越的吞吐量、分辨率和准确性。