二手 ULTRATECH 1000 #9187105 待售

ULTRATECH 1000是一种计算机控制的晶圆步进器，配有5轴级索引。步进器执行所有必要的过程来精确定位晶片以进行曝光，并且包括静态和动态对齐选项。该机使用尖端、高速的电动机进行精确的晶圆运动，并在其所有操作中使用最高精度。1000的结构是用刚性材料建造的，以达到最大的耐用性和稳定性。ULTRATECH 1000具有易于操作的用户友好控制器界面。无论晶圆的大小如何,它都能提供最高的对齐和图像放置精度。这要归功于其精确的步进电机、高分辨率编码器和尖端的扫描控制设备。步进器能够成像平面晶片或蚀刻晶片。为了获得最高精度，1000使用了先进的成像系统，它可以精确检测晶圆特征的所有细微差别。为了保证最高精度，步进器使用了一个新的透镜单元，像所谓的迭加误差那样最大限度地减少了过程参数的出现。此外,如果过程的任何部分变得不可靠或不正确,此功能强大的步进器将能够快速重新成像晶圆。ULTRATECH 1000还配备了自动装载机，使得晶圆的装卸不费力。此工具使用光传感器来检测晶圆的半径并自动调整位移。它还使用伺服控制臂，以确保晶片在加载过程中正确就位。1000的控制器允许精确处理分辨率、曝光时间和电源设置。它还包括许多自动化功能,包括模式查看、自动对齐和内存保存功能。综上所述，ULTRATECH 1000是一款功能强大的中高端晶圆步进器，专为曝光晶圆最精确准确的定位而设计。它具有先进的成像资产和新的镜头模型,以实现最高的准确性,用户友好的控制器界面,自动加载设备,以及用于模式审查、自动对齐和内存保存功能的一系列自动化功能。