二手 ULTRATECH 1000 #9198399 待售

製造商
ULTRATECH
模型
1000
ID: 9198399
晶圆大小: 6"
Projection wafer stepper, 6".
ULTRATECH 1000是ULTRATECH Corporation製造的晶圆步进器,专为处理光掩模和晶圆而设计。它是一种高度精确的机器,分辨率为0.5微米,步长为0.1微米。它具有高精度、高维护的3轴驱动系统,可实现X轴和Y轴的亚微米运动,以及极低的热漂移,以适应广泛的应用。1000具有几个功能,使其与其他晶圆步进器区分开来。它配备了一个5轴级,允许在扫描或传输图样时对晶片进行高精度对准和定位。5轴级还允许在晶圆步进过程中放置多个掩码。ULTRATECH 1000还具有高精度自动对焦相机,有助于确保精确和精确的图桉位置和几何形状。1000还具有静电卡盘,可用于保持敏感晶片以及晶片上的图样对齐标记,以精确定位和定向。静电卡盘还有助于减少晶片在加工过程中的不需要的运动。ULTRATECH 1000能够运行广泛的晶圆步进过程,包括光刻和氧化物蚀刻。其出色的分辨率、高维护性、低漂移以及多掩模放置的可能性,使其成为微电子和纳米电子等应用的理想选择。总之,1000是一种精密的晶圆步进器,具有极好的精度和可靠性.其多种特性使其能够处理广泛的晶片步进器应用,其5轴级确保晶片和掩模的精确对准。其静电卡盘有助于减少不必要的运动,并提供晶片的安全保持。所有这些特性和功能使其成为寻求最佳且经济高效的解决方桉以满足晶圆步进器需求的公司的绝佳选择。
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