二手 ULTRATECH 1000 #9217207 待售

ULTRATECH 1000是ULTRATECH製造的晶圆步进器。这种步进器是一种用途广泛的机器，用于各种光刻工艺，包括抗剥离、沉积、蚀刻和接触印刷。步进器由两轴XY级组成，具有亚微米精度和精细定位对准能力。该设备具有高分辨率成像功能,能够处理200毫米至375毫米的基板尺寸。1000包括用于精确对准的高级电动级、用于基板放置的XY真空卡盘和用于非接触式实时对准的闭环激光计量系统。步进器采用先进的线性电机，扭矩大，响应时间快，速度和精度都很好。此外,该单元还利用大功率LED照明来确保最佳曝光精度。ULTRATECH 1000配备了计算机控制的激光自动对焦机，用于微调图像精度和质量。激光自动对焦能够检测小图像异常，确保整个视场的准确性。此外,步进器还配备了先进的数字伺服反馈工具,可在不移动舞台的情况下进行精确定位。晶片步进器还具有高度可编程的光学和曝光系统，用于高级抗蚀剂和蚀刻优化。光学设备可确保使用各种透镜和滤镜进行适当的曝光。曝光模型能够通过改变光线强度、持续时间和聚焦范围等曝光参数，为广泛的应用提供所需的剂量。1000利用溷合动力驱动设备进行最佳无粘连操作。此功能可确保系统以最小的摩擦和振动运行,并提供卓越的精度和速度。此外,该设备还配备了高级控制软件套件。该软件为流程设置和控制提供了易于使用的功能,并允许在内部内存中进行作业编程和保存流程配方。ULTRATECH 1000是一种健壮、高性能的晶圆步进器，可用于各种光刻工艺。凭借其先进的直线电机、超精密激光自动对焦、光学机器和集成控制软件，1000是晶圆处理和光刻应用的绝佳选择。