二手 ULTRATECH 1000 #9396748 待售

ULTRATECH 1000是一种高精度晶圆步进器，旨在为先进集成电路器件的制造提供卓越的性能和可重复性。步进器提供快速、精确的光刻成像,以实现高产生产的精确阵列和模具放置。1000融合了先进的模式识别和先进的光学系统，包括数码自动对焦、直接捕获相机、空气轴承阶段以及先进的基板和模具映射。其广域成像设备具有真正的多阵列功能,允许通过一个阵列模具进行高效多曝光。极紫外线（EUV）源利用300瓦光灯，能够产生高达535 nm的波长分辨率。ULTRATECH 1000具有令人印象深刻的直线电机驱动级,可保证高达341毫米/秒的快速扫描速度。其快速锁定可交换光学器件提供了高达10微米间距的卓越成像能力。Laser VisionMap System技术提供高达0.1 µm的视觉引导自动配准,以实现模具放置精度。EUV光源可以与可选的停转运动标线处理机制集成，以确保标线交换时的最小时间浪费。该装置的MAGNA-Ceal N2清除装置确保了可靠的防止空气污染。步进器的现代集成控制功能包括刀具报警传感、自动模式放置、自动对焦校准、迭加管理机和符合SEMI的晶圆几何。其刀具出血优化特性控制气轴承，以提高刀具的性能。1000还提供了改进的缺陷处理功能,并支持多传感器和独立真空控制。ULTRATECH 1000凭借其先进技术的高度集成,为先进的IC设备制造工艺提供了卓越的可重复性和更高的收率。它具有快速的工艺性能和高水平的生产吞吐量,能够快速制作原型,并能够经济高效地生产多层设备。步进器配备了先进的软件模块，与几种光刻制造工具兼容。