二手 ULTRATECH 1000W #45712 待售

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ULTRATECH 1000W
已售出
ID: 45712
优质的: 1985
stepper, Retrofit 4" stage to 6" Currently stored in a warehouse 1985 vintage.
ULTRATECH 1000W是一种晶圆步进器,一种用于半导体制造的光刻器件,用于将电路模式转移到半导体基板上。1000W具有先进的成像能力,其特点是35mm胶片格式的激光照明曝光面积可达160 um平方英尺,光刻显示器的光斑尺寸可达8.5 um。ULTRATECH 1000W还配备了自动晶圆探针和高性能自动对准电动机,以实现最高的对准精度,使其成为光刻生产和原型制作的有用工具。1000W有一个自动晶片处理设备,可容纳多达4个晶片,并设有一个内置的气泡密封室,在转移过程中保护基板。该系统允许高产加工和改进边缘配位,有助于确保整个基板上均匀的薄膜厚度。自动晶圆处理装置还具有优于0.1 um的晶圆对准重复性。此外,冷却喷嘴还集成到机器中,以保持曝光期间的环境温度水平一致。ULTRATECH 1000W还配备了高端UV激光工具,可为要求苛刻的曝光应用提供高达20 mW的高功率照明。曝光资产允许曝光时间为0.5到4秒,精确曝光时间为0.01秒增量。此外,1000W还有一个自动曝光校准模型,可确保所有曝光参数,包括光斑大小、曝光时间和剂量,在曝光前都在容许范围内。ULTRATECH 1000W还包含一整套软件和硬件控制选项,使用户能够自定义和控制设备以获得最佳效果。用户可以对曝光时间和剂量以及放大成像的曝光速度进行完全曝光参数控制。此外,1000W还具有FlexSpin自动加载程序和卸载器功能,可自动加载和卸载晶片,从而缩短设置时间并提高整体吞吐量。ULTRATECH 1000W晶圆步进器是为满足现代半导体工业的需求而设计的,它以经济高效和可靠的封装提供高的曝光精度和控制。它具有多种多样的功能集和用户友好的控制选项,使其成为工业和研究环境的绝佳选择。
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