二手 ULTRATECH 1014 #3278 待售

ULTRATECH 1014晶圆步进器是一种全场、先进的紫外线曝光工具，设计用于大体积光刻和计量生产。在先进微电子器件的开发中，这一通用平台的设计提供了卓越的性能、质量和吞吐量。1014能够产生0.5微米分辨率和25纳米边缘缝合精度的模式,使设备制造商能够实现业界最高的吞吐量和生产率。其300 mm/12英寸晶圆场尺寸和5Kw/12.5Kw剂量可用性也使其适合大面积覆盖和高密度设备。ULTRATECH 1014配备了ULTRAFOUCS技术,可实现卓越的聚焦深度（DOF）和晶圆侧失真。这项技术采用了创新的"环场"透镜系统和其他先进功能，为0.25微米的线条/空间图桉提供了经济高效、鲁棒的光刻技术。1014还被设计为提供卓越的曝光型稳定性和最大产量。支持接触、接近和移位曝光等可变曝光类型,使用户能够生产缺陷较小的晶片。它还具有内置的计量系统，可实时对流程进行现场监测。ULTRATECH 1014除了具有曝光和计量能力外，还附带了多种自动化和控制选项。利用其FLEX处理系统，用户可以对机器进行编程，根据自己的具体要求自动调整其设置。自动化优化工具也可用于帮助开发最佳曝光条件。1014还设计了先进的视觉系统,为用户提供晶圆生产各个方面的详细图像。这在检查时特别有用，允许用户在出现任何缺陷时迅速采取纠正措施。总体而言,ULTRATECH 1014是经过优化设计的晶圆步进器,可为用户提供最高级别的质量、吞吐量和可靠性。其先进的成像和计量系统确保用户能够达到最高水平的性能、生产力和准确性。