二手 ULTRATECH 1100 #9114895 待售

ULTRATECH 1100是为精密生产先进半导体器件而设计的先进晶圆步进器。这种先进的工具为制作高质量的光刻图像提供了一种高效和经济高效的方法。其特性通过将光刻图像精确快速地置于薄薄的光刻层上，有助于减少晶圆的生产时间。1100包括一个平滑轮廓的光学设备,其设计可优化图像质量并提高性能。它有10-12毫米的现场停止范围，最大曝光面积为8x6英寸。该系统还有一个自动对准单元，确保每个光刻图像的准确放置。它利用先进的远心光学和可变数值孔径能力，以确保多层光致抗蚀剂最准确、最高效的对准。该机还具有市场上可用的最高数值孔径（NA），达到0.575，允许高分辨率打印错综复杂的图桉和细线形状。这样可以在设备上产生极小的功能。此外，该机还具有石英透镜元件，用于均匀和一致的紫外线照射，用于所需的光致抗蚀剂层。该机还具有先进的基板分级机，以保证光刻放置的准确性。它还有一个集成的基板处理工具，使自动化，无人值守操作。此资产减少了在机器上设置和定位晶片所花费的时间。此外，ULTRATECH 1100还具有多种先进的软件功能，如：完全集成的工艺数据验证、用于监测冲击和振动水平的数字加速度计、用于存储和审查先前作业的高级数据库、用于预览每层光刻胶的晶圆成像模型以及协助LED照明以提高性能。所有这些功能结合起来，使1100成为目前市场上最高效、最可靠的晶圆步进器。