二手 ULTRATECH 1100 #9224143 待售

ULTRATECH 1100是一种先进的晶圆步进器，设计用于光刻工艺。它具有处理直径从4"到8"的各种晶片的能力。步进器的专利机动化头级允许晶片的精确定位和可重复对准，用于精确覆盖和步进/重复成像。1100的真空密封晶片投掷单元是为了最大的晶片处理精度而设计的，并且能够进行微调和微动力学的运动，允许精确的定位。步进器配备了支持高达30万 lux的曝光水平的曝光单元。这允许广泛的曝光时间和各种程度的灵敏度。ULTRATECH 1100还具有许多工作站,包括潜像监视器、标线组件、用于光晕还原的机械快门、氦流校准器和用于控制细颗粒的气体分散装置。该系统还包括一个精密的晶圆对准级能够亚微米定位精度。此特征允许在x和y轴上进行迭加控制,以确保一致的迭加和正确的阵列。1100使用24英寸掩码最多可执行16,000步。ULTRATECH 1100是一种非常灵活可靠的用于生产应用的晶圆步进器。即使在高暴露水平下,它也能提供快速的周期时间和精确的精度。其机动化的头部级允许精确定位，其先进的计量和检查系统保证了关键的准确性。此外，每一个步骤/重复周期都得到监测和验证，保证与每一种使用保持一致的性能。1100提供可靠的性能、灵活性和快速的周期时间,满足各种生产要求。