二手 ULTRATECH 1100 #9238245 待售

ULTRATECH 1100是一款高度先进的深层紫外线（DUV）干光光刻设备，旨在满足领先半导体制造商的需求。它具有步进和扫描仪配置，在各种晶圆水平上产生卓越的成像和覆盖精度。该系统提供了广泛的应用，包括先进晶片级芯片规模封装（WLCSP）的图样化、透硅通过（TSV）技术和纤薄晶片/无带粘结。1100可提供高达0.25微米μ分辨率的高成像分辨率。此外,它还具有市场上20mm时0.3 μ m的最高覆盖精度。针对超低工作距离对内置光学单元进行了优化，最大限度地减少了晶片边缘畸变对图像精度的影响。此外,步进器还采用了基于图像的自校准（IBSC）和彩色约束对准（CRA）方面的最新技术,提供卓越的成像性能,以及环境稳定性和高生产率。ULTRATECH 1100干步进器能够在整个基板区域内绘制小至0.1 μ m x 0.1 μ m的非常精确的特征图样,从而无需使用阶梯式曝光等多种曝光技术。机器的其他一些功能包括高级背景减法、用于增强聚焦精度的Accu-Clamp Tool和支持多达15kHz个数据输入频率的垂直位移对准（VDA）。1100配有用户友好的图形用户界面、高精度的平场照明、先进的摄像头资产，支持32位CMOS数字视频捕获和最新的图像处理算法。为了提高全型号的工作效率,步进器配备了远程I/O接口和以太网遥控器,从而实现了多个系统之间的无缝过渡。此外，ULTRATECH 1100包含了一系列增值功能，以满足不同生产工艺的具体需求，如自动换镜和电动晶圆运动。1100具有全面的步进能力,可提供高精度成像技术和高吞吐量吞吐量应用。