二手 ULTRATECH 1100 #9244754 待售

ULTRATECH 1100是一种高性能的存在晶圆步进器，允许用户以高度通用可靠的方式自动对齐和测量基板。这台机器非常适合加工薄基板，如半导体晶片，具有微米级精度和均匀的吞吐率。它配备了一个23英寸的大型舞台，可以进行严格的对准和测量。1100带有自动对准系统,可精确地扫描基板表面放置和对准晶片掩码和器件层。这样可以确保高生产率和产量,同时减少错误和不合格。步进器采用多层映射系统进行设计，对基板边缘进行精确成像，并进行复杂调整以实现最佳对准，从而获得最高精度。使用ULTRATECH 1100进行处理是自动化的,允许对对齐、曝光和测量进行完全数字控制。这样可以提高吞吐量速率而不牺牲质量。步进器可以配置各种真空技术，以便对基板进行可靠的处理。其坚固的设计确保了可重复的接触过程，从而最大限度地减少了基材之间质量变化的可能性。1100还提供了先进的模式识别系统，方便详细的检查和分析。其曲面映射功能允许操作员检查晶片到晶片的性能并进行必要的调整。步进器还配备了板载应变仪，以精确测量基板曲率，进一步实现图像手动/现场补偿和优化。此外,ULTRATECH 1100还提供卓越的性能和与微加工工艺的广泛兼容性。它支持广泛的加工技术，包括氧化、植入、蚀刻、自旋涂层和光刻胶自旋技术。利用直观的软件,步进器易于操作,并得到在线资源的支持。1100是一种用于半导体加工的高度可靠的晶圆步进器,可提供最高精度和吞吐量。