二手 ULTRATECH 1100W #131417 待售

ULTRATECH 1100W晶片步进器是半导体生产过程中用来在晶片上打印微观结构的强大工具。利用基于光的扫描方法，它产生了一系列连续的打印特征，具有精确和可重复性。此步进器提供高精度和特征分辨率,并能够快速高效地处理晶圆。该设备采用模块化结构，由基座和可调节高度的导光装置组成。它具有易于与激光瞄准系统对准的功能,并且可以将其10K-12K W/cm2编程强度范围扩大到最大30K-35K W/cm2而无需任何附加附件。它以1.5 μ m的可重复性准确记录特征起始位置和结束位置。步进器的设计采用了先进的运动引擎，以确保晶圆在任何时候的速度和精度，并且可以很容易地集成到所有的模具系统中。其设计、机械结构、控制单元满足高精度、一致性能的要求。此外,步进器还配备了安全功能,例如过温保护、过压保护和自动检测任何工艺故障。它具有先进的传感技术,能够自动检测6 μ m的小特性,并具有多达16步旋转的特性。该机还可与第三方晶片分选系统集成，方便晶片处理。1100W晶片步进器提供卓越的工艺控制、提高的产量和延长的产品寿命,使其成为半导体生产的理想选择。它是半导体工业持续发展的重要工具。