二手 ULTRATECH 1500 MVS #293596107 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一种用于光刻的全自动、最先进的晶圆步进器。1500 MVS利用深U/V （Ultra-Violet）光刻的高性能,在半导体晶圆上创建复杂电路特征时提供了高度的精度和精确度。ULTRATECH 1500 MVS的设计旨在促进光掩模与晶片的精确、可重复对准,从而创建金属或硅的晶体定义、缩放层。高精度的光学对准确保了精确和一致的光凹陷,这对于功能电路设备的生产至关重要。1500 MVS能够一次容纳多达十个硅片，允许高吞吐量生产。ULTRATECH 1500 MVS提供了几种增强光刻精确度和性能的功能,包括用于测量掩模精确位置的高分辨率摄像头和用于跟踪晶片相对于掩模的确切位置的步进对准编码器。此外，系统中内置了一个高精度的光学对准目标，以确保高度可重复的模式放置。1500 MVS还具有主动运行时吞吐量优化算法，以最大限度地提高每个生产运行的产量和效率。可以在一次运行中处理多层不同的特征、分辨率、覆盖层和材料,从而在复杂设备的生产中实现前所未有的性能。ULTRATECH 1500 MVS的机器界面进一步简化了生产运行，实现了严格的过程参数控制。总体而言,1500 MVS是一种高度先进的晶圆步进器,能够生产技术和功能复杂的超高分辨率设备,结果一致,精确度高。ULTRATECH 1500 MVS非常适合更复杂和要求更高的生产过程,例如与半导体器件制造相关的过程。