二手 ULTRATECH 1500 MVS #9188725 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一种独立的晶圆步进器，专门为大体积、低成本晶圆标线曝光而设计。步进器能够提供精确的对齐功能尺寸小至0.2微米。它具有独特的扫描面罩对齐器设计,可确保整个磁场的光照均匀性,并且面罩头配有专利解决方桉,即扫描位置锁（SPL）机构,可确保晶圆对齐精度,大大降低织带和变形效果。1500 MVS系统具有多级索引步进压板技术，能够单程提供每小时650晶片的吞吐量，以及具有可调功率和脉冲宽度的高度稳定、低失真的氙汞光源。该系统在所有轴上都具有+/-2微米的可重复性，这对于其类来说极为精确。再者，ULTRATECH 1500 MVS还附带了AutoFieldAlign等多种强大的功能，使得场失真能够实时自动校正；MultiFlash，允许从单个涂层板编程多达20个序列的多次曝光；和Adaptive Exposure，它使用先进的光学传感器即时监控晶圆对准，并自动相应地调整照明。1500 MVS是晶圆标线曝光的可靠且成本效益高的解决方桉，特别是针对大批量生产的需求。其稳定的氙光源确保了一致的照明水平，而灵活的编程选项和实时自动校正功能则确保了准确性和可重复性。它是短期项目、产品频繁变更、生产精密无与伦比的优质晶圆标线的完美系统。