二手 ULTRATECH 1500 MVS #9229103 待售

ULTRATECH 1500 MVS（MaskApply II Stepper Equipment）是一种专门的晶圆步进器，用于半导体製造中使用的光掩模的直接成像。该系统旨在快速准确地创建光掩模图样，用于产生集成电路的光刻过程。1500 MVS能够在分辨率高达2微米的情况下产生3个骰子。它利用SynBit专有技术实现了可靠的对齐和过程自动化。该单元具有高精度晶圆操控机、抗静电控制工具、精密光束倾斜调节资产和恒星图像投影仪。MaskApply II步进模型旨在满足半导体工艺工程师的需求。它具有一套硬件和软件组件,这些组件可以协同工作,使许多复杂的映像过程更轻松。该设备提供高性能和一致性,每小时可实现高达2100晶圆的吞吐量。MaskApply II步进系统提供多种高级功能,可提高准确性和速度。除了倾斜和聚焦系统外，ULTRATECH 1500 MVS具有集成光学显微镜和先进的真空控制器。这种集成的光学显微镜使得在图样印在晶圆上之前能够精确检查遮罩图样成为可能。而先进的真空控制器则有助于在保持均匀照明和图像聚焦的同时，最大限度地减少蒙版上的应力。除了这些功能外,1500 MVS还提供集成软件包,用户可以创建、分析和优化流程配方。其他功能还包括用于精确掩模定位的对齐跟踪单元、便于比较工艺配方的预加载数据库以及集成的颗粒监测机。总体而言,ULTRATECH 1500 MVS是一种功能强大且可靠的晶圆步进器,适合在各种半导体工艺环境中运行。该工具提供了一组可靠的功能和特性,使其非常适合直接成像光掩模,也适合生产集成电路的光刻工艺。