二手 ULTRATECH 1500 MVS #9256268 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一种晶圆步进器，或一种光刻机，设计用于制造半导体器件。该机采用步进重复工艺，将细密图桉的粘合层和具有零件几何特征和结构从亚微米到宏观的光刻涂层进行曝光。该系统具有广泛的用户选择的基板尺寸和自动对焦功能，以确保准确性。1500 MVS利用可编程双轴扫描运动系统在整个扫描范围内进行掩模对准和测量精度。其先进的扫描技术和由此产生的稳定性允许在芯片上暴露越来越小的特性。它还提供了整个扫描范围内真正均匀的扫描速度。步进器配有阴极射线管晶片级，其音高精度为20 μ米，运动范围为100 × 100毫米（或更大），扫描速度高达500毫米/秒，可用于光刻的快速精确的晶片定位和对准。该机器还具有自动对焦功能，有助于进一步提高对准精度和可重复性。整个系统采用模块化设计,便于自定义配置和快速设置。它的"精益设计"还减少了不必要的零件和零件磨损量,提供了一台更可靠的机器,它运行的维护周期更少,并通过最小化停机时间来提高工作效率。ULTRATECH 1500 MVS的另一个特点是其可调节的自动倾斜定位功能，允许符合各种基板表面和组件。步进器还设计为每小时运行多达160个晶片,具有自动卡带加载/卸载功能和条形码读取器,从而实现高效、精确的光刻性能。总之，1500 MVS是一种出色的晶圆步进器，提供可靠和可重复的性能。该机速度极快，设置方便，可通过可调倾斜能力处理各类基板尺寸。它是任何光刻工艺的理想机器。