二手 ULTRATECH 1500 MVS #9266754 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一种先进的晶圆步进器，设计用于生产半导体器件的精密光刻。它是UltraStepper系列产品的一部分,这些产品经过专门设计,可降低成本并提高吞吐量,同时保持最高的准确性和质量。该设备采用5轴电动扫描级和高精度编码器来测量和调整每个级的位置。1500 MVS具有处理高达156mm的玻璃基板、高达4"的溶剂和耐热口罩以及高达1500 mm/s的扫描速度的能力。晶片步进器还利用先进的运动反馈控制系统，在X轴和Y轴上精确对准级和对准曝光区域。ULTRATECH 1500 MVS还配备了两轴光学单元，能够在曝光前对掩模和基板进行精确的光学对准。这台机器还利用先进的成像算法来监测和调整曝光时舞台的运动。1500 MVS提供了广泛的曝光模式,并具有"智能"边缘拼贴工具,可实现多级模式。该资产还包括一个可编程扫描模式生成器，并支持各级分辨率。该模型能够进行单曝光和多曝光,可产生0.1 um的图样精度和0.001 um的边缘放置精度。该设备最多可存储六种食谱,非常适合大容量环境。ULTRATECH 1500 MVS旨在最大限度地减少移动元件之间的接触，从而提高稳定性并延长其使用寿命。此外,晶圆步进器具有坚固的结构设计,可在工业环境中可靠运行。ULTRATECH还提供了广泛的配件和消耗品，以确保机器的最佳性能。1500 MVS具有增强的步进控制单元、温度和湿度控制、串联粒子监测和自动提交作业等特点，是寻求产生高质量晶片图样的人的理想工具。