二手 ULTRATECH 1500 MVS #9267164 待售

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ULTRATECH 1500 MVS
已售出
ID: 9267164
Stepper With chuck, 6" Wafer handling: Autoloader, 6" (Cassette to cassette) Line resolution: 1.0 µm Depth of focus: Standard 3.0 µm at 1.0 µm lines Maximum square: 18 mm x 18 mm Maximum area: 34.2 mm x 13.6 mm Reticle size: 3" x 5" x 0.090" Alignment: WAS / MVS Computer: HP / HEWLETT-PACKARD 362.
ULTRATECH 1500 MVS(Multichannel Vibrating Sample)是一种全自动、高精度的晶圆步进器,设计用于半导体的制造和研究应用。这种设备被设计用来精确测量晶片的微观特征,并具有亚微米精度,可以配置为处理各种各样的基材尺寸和形状。该机器能够分析晶体结构、掺杂浓度、地形、表面成分、电性能和其他参数。该系统的核心是由三个子系统组成,即样品准备、测量和分析。样品制备单元是机器的关键部件,包括自动湿蚀刻工具和一系列用于基材制备和处理的配件。该资产可随时处理多达四个晶片,并提供具有可重复结果的一致质量。测量子系统装有两个平面驱动级,以确保扫描基板时的高精度和重复性。这些阶段能够在比样品制备模型更大的面积上扫描基材,从而能够进行更详细的分析。映射过程由具有高动态范围和精度的单轴扫描镜像完成。最后,分析子系统提供了测量数据的综合后处理,以确定制造或研究所需的参数。可以缩放和处理数据以创建实时和3D图形显示以进行评估。1500 MVS是一种高度通用、精密的晶圆步进器,使用其自动化的样品制备、测量和分析子系统易于操作。配置可以改变,以根据特定应用的需要量身定制设备,图形数据显示信息丰富,可以快速轻松地操作,产生精确的测量。ULTRATECH 1500 MVS具有卓越的性能和灵活性,为半导体和研究应用提供了无与伦比的精确度和易用性。
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