二手 ULTRATECH 1500 MVS #9280621 待售
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ULTRATECH 1500 MVS晶圆步进器是一种高性能、全场可编程光刻设备,设计用于移动高分辨率半导体微芯片。这台机器采用先进的设计平台,融合了光刻、控制系统和成像技术的最新进展。1500 MVS提供卓越的准确性、可重复性和图像保真度。它能够成像所有类型的基材,包括晶片、面膜和铝箔。该系统是完全自动化的,允许最快、最准确的操作。ULTRATECH 1500 MVS利用运动学、精密电动机、干涉测量和图像处理,在其成像区域内精确精确地移动晶圆。光学设计允许最大限度地利用设备,从而提供尽可能快、分辨率最高的图像。该机采用两种干涉仪,跟踪调整晶圆的位置和旋转。1500 MVS还包括高速图像传感器、计算机和控制软件,提供了完整的可编程光刻工具。ULTRATECH 1500 MVS最多可容纳8英寸底物,分辨率为5微米。该资产允许在每个基板上放置数千个晶圆位点,从而实现了半导体器件的大批量制造。对准精度为+/-0.2micron,可在最终产品中实现卓越的电气性能。1500 MVS是要求苛刻的高性能应用的完美解决方桉,因为它具有可重复的精度和高保真成像。ULTRATECH 1500 MVS附有高速影像追踪、步进重複、光刻程式等多种特性,允许在每个晶圆上精确放置特徵。该型号还附有透镜、挡板、LED等预先校准的光学元件的综合库。1500 MVS能够运行各种类型的曝光程序,使其成为各种图像成像的通用工具。除了先进的成像能力外,ULTRATECH 1500 MVS还附带了先进的性能特性,如支持多站点晶圆、可编程扫描速率、可变体积掩码,以及实现一流性能的自动调平。这台机器可以通过可选附件进一步定制,如集成扫描仪和自动加载设备。1500 MVS是一种工业级晶圆步进器,能够提供卓越的性能和可靠性。其高精度成像能力、先进的控制设备和坚固的构造使其成为大容量半导体制造的理想选择。
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