二手 ULTRATECH 1500 MVS #9306125 待售

ULTRATECH 1500 MVS晶圆步进器是一种用于光刻和电路制造过程的高精度机器。它被设计用来快速准确地将图样暴露在几种不同类型的半导体晶片上。1500 MVS是一种3轴光刻机，利用计算机控制的舞台，精度范围为+或-5微米。它具有0.5弧秒分辨率的精密6轴旋转运动级。这使用户能够精确控制晶片步进器激光器的曝光、放置和角度。ULTRATECH 1500 MVS采用高分辨率可变功率激光器（波长可达10.6 μ m），可产生高达10,700 °F的温度。该机器还具有"毯子"功能，通过使激光束符合晶圆尺寸，有助于最大程度地减少来自激光器的能量损失。这有助于确保均匀曝光。1500 MVS晶圆步进器能够快速暴露高保真度的模式。每毫米最多可露出10行的口罩。此外,机器还可以精确地曝光长宽比从0.1到4.4不等的晶片。该机还配备了多区域和粗细对准系统，非常适合不同间隙要求的应用。对准系统有助于确保晶片上的曝光区域精确对准。此外,它还具有允许用户即时修改曝光参数的软件程序。ULTRATECH 1500 MVS的设计目的是通过提供快速的负载/卸载时间和较高的舞台速度（最高0.3毫米/秒）来最大化吞吐量。此外，该机器的设计能够高效、准确地处理各种晶圆尺寸和模式。1500 MVS是先进可靠的晶圆步进器。其电脑控制阶段、高分辨率激光、多区域对准系统以及快速的装卸能力使其成为量产作业的理想之选。