二手 ULTRATECH 1500 WAS #9085381 待售
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ULTRATECH 1500 WAS是ULTRATECH, Inc.步进器设计用于制造过程中半导体器件的精确对准和定位。步进器为高精度光刻应用提供了前所未有的精度和可重复性。1500 WAS利用多望远镜和1.5 µm超罐照明设备等先进技术,提供了高度的准确性和可重复性。步进器结合了多望远镜光学设计,结合了几种独立修改的望远镜,以确保精确对准。该系统还允许广泛的曝光波长和强度,以实现有效的光刻。此外,它的1.5 µm超声照明单元提供高效的高分辨率照明精确对准。ULTRATECH 1500 WAS采用强大的控制仪表板构建,可轻松准确地集成多个过程步骤。该机器具有直观的用户界面、功能强大的基于Windows的控制工具以及广泛的自动化功能,允许用户自定义过程的每个步骤。这使得步进器具有很高的适应性,并且易于用于生产过程。1500 WAS在制造过程中提供了高水平的速度和精度。它可以容纳直径不超过200毫米的晶片,并使用正在申请专利的快速扫描资产,使总面积的散焦和对准扫描速度达到每晶片1秒。此外,该模型的对准精度最低为0.2 µm,位置精度最高为0.4 µm,进给精度为0.1 µm。ULTRATECH 1500 WAS可为产品需求定制,可用于半导体接触栅格阵列制造、半导体测试、医疗设备制造和生物技术等多种应用。该设备还提供各种附加选项,如曝光阶段、背面和源照明,以及各种镜头和滤镜,以优化性能。1500 WAS是ULTRATECH, Inc.制造的先进晶圆步进器,用于制造过程中半导体器件的精确对准。步进器利用多望远镜和1.5 µm超罐照明系统,为高精度光刻应用提供了前所未有的精度和可重复性。此外,该设备还具有直观的用户界面、功能强大的基于Windows的控制机器以及广泛的自动化功能,可实现高速度和高精度。ULTRATECH 1500 WAS非常适合各种应用,如半导体接触栅格阵列制造、半导体测试、医疗设备制造和生物技术。
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