二手 ULTRATECH 1500 WAS #9293282 待售
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ID: 9293282
晶圆大小: 6"
优质的: 2007
Stepper, 6"
WAS Alignment can be upgrade to MVS
Wafer autoloader can be upgraded to TAZMO Loader
Reticle: 3x5 converted to 5x5
2007 vintage.
ULTRATECH 1500 WAS是为高性能半导体集成过程而设计的先进晶圆步进器。这种晶圆步进器提供了一种自动化的方法，用于精确和快速地阵列多个半导体层纳米分辨率。其专利技术利用集成的直接扫描技术（DST）生产具有极其精确的特性和最小空间浪费的半导体芯片。1500 WAS具有高分辨率的自动化阵列设备,能够处理0.6米μ间距及以上的阵列。它配备了可调节变焦的高分辨率光学系统，允许自动聚焦和放大20倍。步进器能够进行恒定的轨迹扫描和多次曝光。这样可以确保所产生的阵列在尺寸变化较小的芯片之间精确复制。它还允许更快的处理时间,并且不需要昂贵的调整或昂贵的重工。ULTRATECH 1500 WAS具有高度可调性，其高速逻辑架构可针对粗细运动进行调节。它的数据输入体系结构是自动化的,允许更快、更准确的数据输入以提高流程吞吐量。这种先进的步进器以纳米级的精度扫描模式数据，产生了优越的工艺性能。1500 WAS还拥有先进的冷却装置，保持晶圆加工所需的最佳温度。该机还配备了隔振平台，为用户提供低噪声的工艺环境。此工具还包含高级诊断工具,用于诊断过程中遇到的任何问题。ULTRATECH 1500 WAS能够在各种集成工艺选项中运行,包括光刻、硬蚀刻和晶圆检查。它还能够集成其他工艺技术，如跳线粘合和各种光刻前端设备。这些集成工艺选项及其高级功能使1500 WAS成为高端半导体集成工艺的理想解决方桉。
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