二手 ULTRATECH 1500 #293597692 待售

ULTRATECH 1500晶圆步进器是一种用于制造先进微电子器件的精密对准和成像设备。它提供了基板的精确对齐,并在串联和批量配置中工作。1500利用不同的机制，使基板在对准和成像过程中保持静止。此功能允许它随着时间的推移保持位置精度,并为每个任务提供一致的结果。凭借其内置的电动z轴，ULTRATECH 1500可以为图桉提供可重复和精确的曝光层。其自动回流曝光控制系统（RECS）确保曝光结果符合行业标准。该单元还具有双视图功能,允许从基板的顶部和底部查看操作。此外,1500支持范围广泛的晶圆尺寸,从200毫米到500毫米。其集成的高精度主轴驱动机器,无论基板尺寸和材料如何,都能实现精确的对齐,达到所需的掩蔽层。该机还配备了集成高速自动对焦摄像头，使其能够检测到小于0.0005毫米的平面外厚度。ULTRATECH 1500采用低功率激光光源计量，也能够集成原位粒子检测。该工具还具有多层晶圆检验资产（MLWIS）。1500附带了一个用户友好的图形界面，提供了一个直观的方法来控制模型的各种参数和监控结果。这使用户能够快速设置设备并获得有价值的测试见解。系统设置完成后,可以将数据直接导出到数据库,以供以后查看。总体而言，ULTRATECH 1500晶片步进器是一种功能强大且用途广泛的工具，可满足先进微电子器件生产的苛刻需求。其精确的对齐和成像功能,加上其自动化功能,为各种应用程序提供了可靠而高效的解决方桉。