二手 ULTRATECH 1500 #9018358 待售

ULTRATECH 1500是一款具有专利旋转扫描曝光系统的先进生产规模晶圆步进器。它提供高效扫描能力，结合高分辨率成像，用于微电子生产。1500以其紧凑、可靠的设计,为曝光多层光掩模或晶片提供了卓越的性能,并获得了可重复的结果。ULTRATECH 1500具有由四个晶圆步进臂组成的集成集群,每个臂都有两个独立的曝光系统。这组步进器由精确的线性和旋转执行器驱动，提供精确和可重复的对准。其线性和旋转执行器还能实现高精度同步和无缝运动，从而独立控制扫描狭缝和晶圆。1500能够产生尺寸不超过36 μ m （0.0014"）的精密图像,精密图像放置精度为15 μ m （0.0006"）。ULTRATECH 1500包括一个独特的图像处理模块,可使用最新的行业算法实现自动图像定位、配准和曝光优化。此模块提供了市场上最高的速度和准确性,每小时最多可曝光40000次。其中一些制作能力包括1：1的比例曝光，以获得更精细的细节；多次暴露以获得更大深度；晶圆镜头的精确图像移位；和自动图像掩蔽。此外,1500还具有用户友好的图形用户界面（GUI）和触摸屏控件以及视觉引导功能。这种直观、易于使用的GUI使用户能够通过简单的调整和最小的错误来编程曝光。ULTRATECH 1500还包括用户定义的曝光参数管理，包括扫描方向、图像数量、次曝光图像、现场曝光功率和剂量。1500适用于广泛的应用,特别是复杂的微电子生产过程。它提供了无与伦比的精确度和精确度,使其成为任何生产环境的宝贵工具。