二手 ULTRATECH 1500 #9019176 待售

ULTRATECH 1500是一种晶圆步进器，用于製造半导体器件，例如电脑晶片。它是为亚微米范围内的一步光刻设计的专用设备。1500晶圆步进器利用聚焦和高能紫外线，由专门的激光电弧系统产生。这种UV光被用来暴露已经被自旋铸造到晶圆表面的光刻胶层。然后可以将晶片浸入化学显影剂中，有选择地揭示在光致抗蚀层中形成的微结构。ULTRATECH 1500晶片步进器包括对准、阵列、迭加监控、焦点对准和粒子控制。它还有一个上层，包括激光头旋转器和居中机构。旋转器允许激光器在x、y和z轴中移动，从而在最终微观结构的特征中获得更好的分辨率和放置精度。定心机构确保激光与晶圆精确对准。该单元还包括一个光源，可以是灯，也可以是激光，这取决于项目的需要。光源耦合到一个集合光栅机，它允许光被分成两束，然后在步进器的曝光区域收敛。这保持了在基板上放置特征的高精度。步进器中还包括高级成像工具。这包括一个CCD照相机，在曝光之前、期间和之后拍摄每一个微观结构的图像。然后可以将这些图像与校准框架进行比较，以确保准确性和质量；可用于测量每个特征的大小和形状。1500晶圆步进器的其他特性包括一种粒子控制资产，它可以清除空气中的污染物，从而消除光刻胶和特性的污染。通过使用OLP（光学低通滤波器），步进器还能够补偿因能量强度降低而造成的失真，这可能导致有害的曝光伪影。最后，步进器还包括一个高精度的晶片处理模型，它提供了晶片在图样上快速精确的定位。所有这些特性使得ULTRATECH 1500成为微芯片生产的绝佳选择。