二手 ULTRATECH 1500 #9019700 待售

ULTRATECH 1500是一种晶圆步进器，旨在帮助满足半导体制造的严格设备放置需求。步进器使用先进的电子束（e-beam）光刻工具，以快速的吞吐率提供高对准精度和重复性。该设备具有高加速度的直线电机级，在保持高分辨率和可重复精度的同时，实现了较短的扫描时间。1500还利用ULTRATECH专有的Saber™对齐系统确保精确的x-y对齐,同时满足具有挑战性的吞吐量要求。ULTRATECH 1500具有分辨率为1-2 nm、磁场大小为450 mm x 450 mm的M4K电子束柱。这种单一的电子束柱能够持续产生40 nm及以下的光刻结构。为了进一步提高吞吐量和缩短周转时间，步进器还提供了一个自校准单元。此机器将自动校准M4K的电子束列,并在每次曝光前执行"调整"操作。1500采用了完全集成的闭环晶片处理工具,该工具集成了无传感器对齐、虚拟对齐和聚焦测量,以实现较高的放置精度和吞吐量。通过使用专有的嵌入式对齐工具,步进器可以将晶片自对齐到已知的参考,从而消除了可以降低吞吐量的手动对齐过程。闭环资产还有助于在线对焦校正、自动晶圆对准和低成本掩码更改。ULTRATECH 1500具有高度可配置性,它提供了多种选项来定制其性能以满足独特的生产需求。所提供的选项包括双电子束柱、超大型场选项以及SubSaber™子采样和对齐。还提供了增强性能平台（EPP）,使用户能够减少扫描时间并提高分辨率和准确性。除了其功能外,1500还具有很高的可靠性和鲁棒性,可提供可靠的吞吐量质量结果。该模型的自动校准确保了可重复的性能,并且平台的主动安全功能有助于保护敏感数据。步进器还可以得到ULTRATECH软件和硬件选项库的补充,从而使设备能够针对广泛的应用需求进行定制。ULTRATECH 1500是一款多功能步进器，可以帮助半导体制造商比以往更快、更可靠地实现精确的器件放置要求。系统的高加速度线性电动机级提高了放置精度和吞吐量,而其专有的Saber™对齐单元以及SubSaber™的子采样和对齐功能有助于减少手动过程。该机器还拥有一系列性能增强选项,使其极易定制。最后,步进器的自动校准、自对准和串联对焦校正功能使制造商放心,每次都会准确放置其设备。