二手 ULTRATECH 1500 #9050208 待售

ULTRATECH 1500
製造商
ULTRATECH
模型
1500
ID: 9050208
Broad band steppers Currently warehoused.
ULTRATECH 1500是一种晶圆步进器,为精密掩模光刻、直写光刻、激光退火等相关应用提供精确、大视野和先进能力。1500具有高分辨率、数字成像能力和允许+-35°倾斜的高度可调级,是各种光刻工艺的高度精确可靠的工具。独特的是,ULTRATECH 1500配备了两个独立的光学组件,可以在生产过程中进行交换,从而允许在操作之间进行快速更改,而无需增加生产时间或成本。可用的两个光学组件是象限炮塔和特殊元件。Quadrant Turret具有很长的工作距离,它提供45°的角度范围,非常适合需要精确放置和对齐大台阶或多个对象或图桉的项目。Special Element光学组件具有较短的工作距离,可配置用于可变衍射光栅、动态阵列以及用于大批量生产的快速写入。1500具有可编程的高级电机驱动系统,能够产生精确的线性运动,以实现精确和高精度的多元素模式。凭借其专利曝光控制系统,ULTRATECH 1500能够在广泛的条件下实现高吞吐量和卓越的图像重复性。此外,它还集成了基于摄像头的复杂系统,可实现高分辨率成像和卓越的定制选项。除了硬件功能外,1500软件还允许对其设置参数进行高级监视和控制。这与专用的网络功能相结合,使操作员能够通过快速访问数据、进行调整和远程控制工具功能来减少停机时间并提高生产效率。除了高级特性和功能外,ULTRATECH 1500还包括一系列专门为保护工具免受损坏而设计的高级安全功能。这些功能包括:在发生错误或紧急情况时具有警报通知的自动关机功能;对关键组件进行温度监控,以及在停电时自动关闭电源。总的来说,1500是一种超精确的高分辨率晶片步进器,它提供了令人印象深刻的一系列特性和功能,非常适合于高分辨率掩模光刻、直接写入光刻、激光退火和其他相关工艺。
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