二手 ULTRATECH 1500 #9098742 待售

ULTRATECH 1500晶圆步进器（Wafer Stepper）是一种高精度、电脑控制的机器，用来在晶圆表面列印、检查和暴露集成电路元件。这台机器的印刷精确度远远超出了常规设置的限制，可以非常精确地放置电路元件。1500利用高功率源（如准分子激光器）选择性地曝光小至0.1微米的特征大小。它具有一个编码稳定的2轴级，可大大减少步进误差，以及一个专门设计的用于控制激光聚焦的高分辨率Z级。步进器的软件包允许精确控制打印过程，并包括复杂的对齐和编辑功能。它包括一个精确的自动对焦机构，允许激光光束在晶圆表面上自动聚焦到+/-0.01微米的精度。ULTRATECH 1500最显着的特点是其独特的影像中心设备。该系统结合了MEMS系统和先进的激光光学器件，将每个图像精确地集中在晶圆上，不需要手动定心。1500设计为与ULTRATECH多功能处理单元（VPS）配合工作,可灵活放置多层印刷电路。这台机器允许整合几种不同类型的自动化表面处理系统，包括蚀刻、溅射和离子植入。ULTRATECH 1500专为重複精度而设计，非常适合量产。其惊人的速度和准确性使其成为需要大量吞吐量的高精度应用程序的理想选择。此外，1500还配备了一个自我诊断工具，可以在需要调整或校准时检测并提示操作员。总体而言,ULTRATECH 1500是一种先进的晶圆步进器,旨在提供高度精确、精确和可靠的结果。它有多种尺寸、配置和价位,是半导体生产的理想解决方桉。