二手 ULTRATECH 1500 #9098746 待售

ULTRATECH 1500是一种高性能、先进的晶圆步进设备,可帮助制造商生产产量更高的精密微型设备。它是晶圆制造设备的行业标准，用于生产集成电路器件、MEMS、薄膜以及其他微电子元件。1500系统具有高达20英寸乘20英寸的大曝光区域和高精度对准级,允许高达1微米的对准精度。该单元可选择248nm至384nm的KrF或ArF光刻源。它还采用了WSCAN技术，提供一致的分辨率、无与伦比的模式均匀性和广泛的照明选项。ULTRATECH 1500还利用了最新的自动化工具,包括计算机控制的晶圆处理机和自动聚焦监视器。对于薄膜和其他基板，它的自动晶片保护器确保精确的放置，即使在存在显着的高度变化。此外,1500工具利用最新的成像技术,包括高分辨率CCD摄像机和专有的图像增强算法来处理图像以进行检查或抵抗开发。它还具有内置的计量资产，能够测量薄膜厚度和定位缺陷。最后,ULTRATECH 1500是一种可靠的型号,它具有一系列出色的安全功能,可保护操作员和环境免受危害。这些功能包括当系统检测到异常高温、漏光或任何其他危险情况时自动关闭设备。总的来说，1500是一个先进的晶圆步进单元，为制造商提供可靠、准确和精确的结果。凭借其广阔的曝光面积和一系列的自动化功能，它是业界生产产量更高的微型设备最有能力和最可靠的机器。