二手 ULTRATECH 1500 #9098748 待售

ULTRATECH 1500
製造商
ULTRATECH
模型
1500
ID: 9098748
晶圆大小: 6"
优质的: 1999
Stepper, 6" Currently de-installed 1999 vintage.
ULTRATECH 1500晶片步进器是一种生产级抗蚀剂成像设备,设计用于快速准确地执行多项微光刻任务。它提供多种成像格式,从140毫米迷你卡带到300毫米晶圆。该装置能够制作分辨率在0.25 µm-5 mm之间的图像,这使其成为各种研究、开发和生产环境的完美工具。1500利用了各种各样的硬件组件,包括0.6米μ后投影系统和0.45米μ菲涅耳带板。后投影单元能够捕获从成像表面反射的光,并在该表面产生图像。菲涅耳带板与后投影机协同工作,有效地将成像点与周围区域隔离开来,使极高分辨率的图像得以捕获。ULTRATECH 1500可靠性很高,需要最少的维护。它包括一个卡带输入工具和输出资产,以及一个自动化的程序加载模型,以减少设置时间和尽量减少人工成本。此外,设备配置为可容纳多个级别的柔性场拍摄,从而可以对成像过程进行更大程度的控制。此外,1500具有内置的机器视觉功能,使其能够高精度地检测图像质量问题。ULTRATECH 1500的设计专为生产环境量身定制,为用户提供可管理的占地面积和低噪音操作。该系统可以方便地安装到现有的生产线中,其用户友好的界面使得它成为有经验的专业人士和新手的理想选择。最后,1500是节能的。高效的LED单元允许该单元在不使电路过度劳累的情况下运行,使其能够在不产生过多热量的情况下保持高效运行。机器的待机模式也确保了空闲时段的最佳功耗,使其成为生产环境的经济选择。
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