二手 ULTRATECH 1500 #9098751 待售

ULTRATECH 1500是ULTRATECH Inc制造的高精度晶圆步进器。它是现代半导体制造过程中光刻系统的重要组成部分。它通过包括光源、光学、舞台扫描和探测器在内的一系列步骤，将在光掩模上生成的图样精确传输到半导体基板上。1500是为了满足亚微米模式和迭加能力的严格要求而设计的。它基于线性电动机设计，为步进操作提供了卓越的运动控制，为高速模式设计提供了出色的线性。ULTRATECH 1500配备了光机系统，在曝光过程中优化模式传递精度和稳定性。它采用先进的微透镜阵列设计，具有较高的数值孔径，使其能够将光聚焦在狭窄的线条和小的特征上，精度很高。1500还通过提高现场均匀性和快速扫描速度提供了高生产率。它采用独特的光学设计,可减少几何失真和光学像差,以确保清晰和锐利的图桉边缘。此外,其先进的控制系统有助于确保在整个步进曝光周期中出色的图像质量、图桉均匀性和迭加控制。ULTRATECH 1500采用增强的用户友好功能,例如板载软件,允许用户远程控制步进器操作,而无需任何物理界面。这一特性使其非常适合临界光刻应用，缩短了设置时间。此外,内置的电机控制单元可实现更好的电机控制,从而实现更快、更平滑、更精确的性能。通过充分利用激光干涉对准等先进功能，1500可以提供精确、可重复的纳米尺度图桉。ULTRATECH 1500是半导体晶圆光刻的绝佳选择。它具有高精度的舞台性能和先进的光学设计，是生产高质量、高性价比的晶圆光刻产品的宝贵工具。