二手 ULTRATECH 1500 #9098755 待售

ULTRATECH 1500是由半导体设备和工艺控制解决方桉行业领先者ULTRATECH开发的顶级晶圆步进器。步进器采用专有的两步工艺，旨在实现先进半导体器件结构的快速、精确的平版印刷模式。1500还包括一系列高级功能,使设备制造更轻松、更高效。ULTRATECH 1500的两步过程始于在晶圆上加入石英标线。标线中包含一个主图样，通过将晶圆暴露在紫外线下转换成一个子图样阵列。紫外线通过石英光学遮罩，扩大了图桉尺寸的范围。该过程的第二步是通过干式或湿式蚀刻将图样转移到晶片上，或者设备的直接写入操作，借助多个聚焦离子束阵列实现高分辨率图样。1500还具有多种其他高级功能,例如全范围真空动力学索引器（VKI）,可提高运动范围和精度。此外，步进器还有一个板载校准模块，用于测量光路（聚焦、像差），并为优化光刻提供高分辨率的实时反馈。ULTRATECH 1500不可或缺的安全功能包括紫外线安全互锁、自动释放功能以及疏散/空中提供的安全模块。此外,其符合人体工程学的设计提供了改进的操作员体验,集成了触摸屏界面,简化了产品的设置和操作。总而言之，1500是一种先进的高精度晶圆步进器，用于制造复杂的半导体器件。其专有的两步过程最大限度地减少了曝光时间,并允许精确的平版印刷模式<em>、</em>,而其一系列高级功能为用户提供了改进的操作员体验,并提高了效率和安全性。