二手 ULTRATECH 1500 #9098757 待售

ULTRATECH 1500是ULTRATECH开发的顶级、最先进的晶圆步进器。1500晶圆步进器具有高分辨率的5轴对准设备,可提供无与伦比的精度和控制-即使在纳米级分辨率下也是如此。这个先进的系统非常适合在微电子和光刻领域的应用。ULTRATECH 1500最大XY行程接近450毫米，其Z轴可调节至30毫米。步进器还具有内置的CCD光学剖面仪,可对晶片表面进行精确成像,用于要求最苛刻的应用。1500可用于将光刻图样精确地蚀刻到半导体晶片上。步进器的5轴对齐单元可确保在晶片表面上正确传输和蚀刻阵列的精细细节。ULTRATECH 1500高度可靠,具有闭环位置反馈和保护外壳等功能。此外,1500对于用户来说非常容易设置,它可以集成到任何现有的自动化机器中。ULTRATECH 1500的成像能力令人印象深刻，因为它既可用于反射成像，也可用于透射成像。这样可以在不同的映像任务之间实现简单和快速切换。步进器也有广泛的成像光学选择，从传统光学到先进光学，如移相器。此外,1500还配备了一套广泛的诊断工具,以确保晶圆正确暴露在正确的紫外线照射下。总体而言，ULTRATECH 1500是微电子专业人士必备的尖端步进器。它旨在提供最大的准确性和控制,以及广泛的成像和对准功能。1500是现有最可靠的晶圆步进器之一，是各种高精度微电子和光刻任务的理想选择。