二手 ULTRATECH 1500 #9098777 待售

ULTRATECH 1500晶圆步进器是为半导体制造应用而设计的高效、高精度的机器。凭借其先进的光学和成像技术，能够以0.5米的精度和可重复性生产高分辨率μ光掩模和晶圆光刻。这台机器提供多种特性和功能，如6英寸运动舞台、多轴电机和镜头驱动设备、自动对准系统以及集成的框架和舞台装配。所有这些功能都大大减少了定位错误、更改掩码所需的时间以及其他设置操作。为了进一步提高其精度，1500配备了一个2D激光自动聚焦单元，确保每个晶片在光束通过时聚焦在光束上。此外，步进器还拥有一台获得专利的高分辨率暗场成像机，能够准确捕捉晶圆表面的地形。这有助于降低条纹的风险,并允许用户快速定位曲面和定位目标位置,而无需标线。ULTRATECH 1500具有低失真光学器件和先进且用途广泛的光源，可用于进行多种光刻操作。机器还配备了晶圆运输和加工的集成工具，确保每一个晶圆都能准确、均匀地暴露出来。最后,1500拥有一个用户友好的界面,使操作员能够快速轻松地对资产进行编程和监控。这种先进的晶圆步进器具有很高的可靠性、灵活性和准确性，为用户提供了针对最苛刻的半导体应用的广泛功能。