二手 ULTRATECH 1500 #9174373 待售

ULTRATECH 1500是芯片制造中使用的最先进的晶圆步进器。它用于将图样从光掩模传输到晶圆，以及在光刻过程中执行其他与曝光和蚀刻相关的步骤。1500提供0.25mm/秒至250 mm/秒的宽扫描速度范围，是高吞吐量和短曝光时间的理想选择。每次扫描都由提供精确和可重复定位的微型步进电机以及420mm x 485mm的大工作区域控制。该扫描仪还有一个自动晶片对准系统，以确保晶片在机器上的准确放置，以及一个自动晶片处理系统，方便在步骤之间移动晶片。该单元包括高级对准和校正功能，以确保高精度，这对于临界曝光和光刻工艺至关重要。扫描线调整和预设软件算法等高级校正功能使机器能够自我校准和微调参数以获得最佳性能。ULTRATECH 1500还提供高级背面成像功能,包括原位平整度、对齐和曝光平移。1500高效、可靠、用户友好,其先进的功能确保了快速的周转时间和高产率。它还配备了惰性环境和氮气清除外壳,以保护敏感部件免受灰尘、化学物质和其他碎片的侵害。总体而言,ULTRATECH 1500是一种顶级的晶圆步进器,可提供最先进的特性和性能。其强大的设计、先进的功能和可靠的操作使其成为芯片制造的理想选择，尤其是在时间和精度是重中之重的情况下。