二手 ULTRATECH 1500 #9182694 待售

ULTRATECH 1500是一种下一代晶圆步进器，专为优化集成电路（IC）制造基板加工的精度、吞吐量和复杂性而设计。该设备利用高级动态运动控制来精确扫描、对齐和聚焦基板上的地形,以减少最终晶圆上的缺陷级别。它配备了一个6轴动态调谐空气轴承，用于精确聚焦和运动控制，能够在2µm左右的模式放置精度，分辨率为1µm或更高。该装置设计用于推进半导体的发展，其精密步进电机和一套全面的成像、图样和光刻能力。它使用自动扫描功能快速检测和解决晶圆缺陷，确保了晶圆精度的高水平。马达以250毫米/秒的最高速度工作,以达到最大吞吐量。为方便快速进入步进器，1500还配备了大型自动化装卸系统。ULTRATECH 1500设计具有各种用户友好的功能,如自动晶圆对准和自动教学,允许轻松操作和大大缩短设置时间。其超高速分选功能可以分类处理微缺陷和多边形模式，同时提供最大吞吐量。模式库使用户能够快速准确地生成自定义模式。该装置还设计用于最高级别的基板分区、质量控制和均匀性。它配备了先进的光学短波对准系统、可定制的图像参数化，以及获得专利的曝光测量系统（EMS），以测量具有广泛曝光水平的临界曝光过程。此外，1500配备了冗余方桉，以确保最高的晶圆调度效率。最后,ULTRATECH 1500是一种高级晶圆步进器,旨在在半导体开发中提供最大精度、吞吐量和复杂性。其精确的运动控制、图像参数化、图桉库和优化的基板分区，使得IC制造的精度和质量控制水平得以提高。