二手 ULTRATECH 1500 #9188727 待售

ULTRATECH 1500是一款高性能晶圆步进器，提供卓越的成像性能和生产力。这种自动化机器是为在半导体晶片上制造集成电路（IC）器件而设计的。它具有集成的电机驱动设备,能够精确控制图像步进和定心。1500能够支撑6到12英寸的不同晶圆尺寸。它旨在在低和高水平的图像功耗下提供卓越的反向图像保真度。由于采用了先进的技术,ULTRATECH 1500可以实现更快的吞吐量和更好的光学性能。1500包括两个主要组件：成像站和高精度级。Imaging Station包含一个源和投影系统，包括一个连续波激光二极管、一个大功率光束扩展器、一个高NA投影透镜和一个自动对焦单元。该成像机能够提供20纳米的卓越空间分辨率。高精度级负责精确定位晶片,以确保正确的图像对齐和覆盖。ULTRATECH 1500还配备了用于精确放置晶圆的高级CCD摄像头，以及允许晶圆级精确和可重复运动的两轴运动控制工具。为了进一步提高流程稳定性和可重复性,1500配备了集成的计算机资产和软件,允许用户对曝光模式、图像序列和图像参数进行编程。成像模型还有一个内置的计量设备，用于晶圆的检查和分析。ULTRATECH 1500提供卓越的性能,旨在满足IC制造商的高需求。它具有强大的设计、高吞吐量和卓越的图像质量,非常适合先进的半导体器件制造工艺。