二手 ULTRATECH 1500 #9195910 待售

ULTRATECH 1500是专门为半导体制造中的光刻应用而设计的晶圆步进器。该设备能够在直径达200毫米的晶片上产生高分辨率图样，从而能够生产更大的集成电路。1500步长仅为3微米,能够以极高的精度和精确度生成复杂的图样和几何形状,从而产生纳米级特征。此外,系统还提供高达5：1的降低速率,使用户能够生成极小的模式,其特性小于1微米。ULTRATECH 1500利用10：1的光学变焦单元，达到最高的曝光精度和精度水平。这与激光干涉测量相结合，检测所有六个自由度的元件位置，意味着所有特征都可以对齐并正确定位在晶圆上。该机还采用了双自动对焦工具，提高了对准定位的效率。1500利用先进的数字电子和先进的软件解决方桉，使用户能够制作高效、定制的曝光程序。这些程序为用户提供了精确控制每个晶片参数的能力，如曝光力、速度和焦点。此外,该软件还为用户提供批处理功能,从而节省了时间和金钱。ULTRATECH 1500被设计为高度可靠和稳定,确保在整个机器使用寿命期间的性能一致。所有资产的组件和功能都是为了提供最大的正常运行时间和不间断的操作而构建的。此外,模型对每个周期执行自我诊断,使其能够在曝光前检测到任何可能的问题。最后,1500是为高效操作和易维护而量身定制的。该设备集成了一个机器人晶片处理系统，简化了装卸，而自动环境控制确保设备保持在最佳性能参数之内。此外,该机器还带有服务指示,告知技术人员任何即将到来的维护需求。