二手 ULTRATECH 1500 #9244164 待售

ULTRATECH 1500是一种晶圆步进器，专为提供高精度光刻技术，用于生产半导体芯片和其他错综复杂的电子元件而设计。这款先进的设备采用激光供电的虹膜，为各种基板上非常微小的电路提供最精确的对准和成像。其独特的特性使其能够以极高的精度处理晶片，同时也减少了暴露晶片所需的时间。1500具有5轴级和最先进的光学设备,可精确对准精确曝光。这种设备在单个晶片上产生多次曝光，并具有最小的错位氛围和最小的屈服损失。此外,ULTRATECH 1500可产生各种电路尺寸和模式,精度± 0.25 µm。1500还能够容纳10种不同的晶圆尺寸，使其用途广泛，效率极高。该系统还配备了先进的计算机控制软件，可以对多达500种不同的源模式进行编程，进行预编程，以进行超精确的模式曝光。此外,ULTRATECH 1500还集成了智能晶圆ID识别单元,可快速准确地识别晶圆。1500配备了前沿成像能力，可以创造低至0.4 µm的线条。这种晶片步进器还具有独特的激光聚焦点控制功能，使其能够在曝光过程中调整焦点以获得绝对精度。ULTRATECH 1500还有一台自动激光功率控制机，将激光功率保持在预编程水平，使曝光始终准确，即使在处理多个晶圆时也是如此。总之，1500晶片步进器是处理复杂、微小的电路模式的理想方法，精度高，收率损失最小。其5轴级、激光功率控制、智能晶片ID识别、可调焦点控制等独特特点，保证了高度精确、可重复的光刻。