二手 ULTRATECH 1500 #9244742 待售

ULTRATECH 1500是一款全封闭式晶圆步进设备，具有独特设计的机械系统，提供稳定准确的性能。该装置能够处理尺寸从1英寸（25毫米）到4英寸（100毫米）的基材，并设计用于运行包括氧气、氢气和氮气在内的一系列加工气体。其创新的设计具有独特的次秒定位精度，使得芯片与基板的对准变得简单一致。机器的主要部件包括一个多轴扫描平台和一个由交流电动机和直接驱动（无齿轮）线性执行器组成的线性驱动子系统。这种布置允许平稳、准确和快速的操作，顶端速度为600mm/s，低加速度为4G。通过所有轴上的闭环编码器反馈进一步提高了工具的准确性，使资产能够准确地复制运动。该平台由先进的软件驱动，确保设备与基板的精确、自动对齐以及配方的高效执行。该模型还具有自动晶片加载和处理的可选自动化软件包,从而无需操作员手动加载晶片。作为晶圆步进设备，1500还提供了集成原位供气系统的选项，允许在飞行中进行气体净化、排气和加压，以及用于故障分析的原位激光烧蚀。再者，该单元可以配备集成的、先进的RTIP（实时成像处理器），以便进行离线检查和分期分析。ULTRATECH 1500是满足各种晶圆处理要求的理想机器。其最先进的设计和先进的功能确保了可靠的吞吐量和高质量的产品。此工具非常适合用于研究、小规模生产甚至原型设计,以具有竞争力的成本提供卓越的质量。