二手 ULTRATECH 1500 #9249624 待售

ULTRATECH 1500晶片步进器（Wafer Stepper）是一种精密的机动设备，用于定位和操纵多种基材晶片。该晶片步进器设计用于在工艺模块之间精确移动晶片，如预对准器、扫描仪、清洁器、染色系统、自旋涂层和光敏涂层。1500晶片步进器具有独特的X-Y轴控制系统，允许在X-Y平面中精确一致地操纵晶片。步进器能够定位精度为12 µm的晶片，以及在广泛的温度和单位压力下运作。ULTRATECH 1500 Wafer Stepper配备了包括微处理器控制器和内置控制逻辑的固态驱动器机。这允许对两个X-Y轴电机进行独立控制而不会漂移，从而允许可靠和精确的晶圆操作。控制逻辑还包括诸如在刀具连接点自动启动/停止和刀具丢弃等功能。步进器还包括一个内置的反馈工具，当从一个位置过渡到下一个位置时，它提供快速响应和高精度。为了最好地满足广泛的工艺要求,1500 Wafer Stepper配备了一系列接口选项。其中包括自动化ULTRATECH驱动技术、两种不同类型的晶圆处理系统以及各种外部I/O和通信端口。此外，资产还可以配备许多软件包，使用户能够精确控制和调整电机速度。此功能还允许在操作过程中实时调整速度。ULTRATECH 1500晶圆步进器由不锈钢制成，具有优异的耐用性和耐腐蚀性。步进器还包括精确压力传感器、温度传感器、过载保护等多项安全功能。与市场上价格相似的晶圆步进器相比,1500晶圆步进器最终提供了卓越的性能、可靠性和控制能力。