二手 ULTRATECH 1500 #9269962 待售

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ULTRATECH 1500
已售出
製造商
ULTRATECH
模型
1500
ID: 9269962
晶圆大小: 6"
Stepper, 6".
ULTRATECH 1500晶片步进器是一种先进的半导体光刻设备,设计用于制造半导体晶片上的高精度元件。这种最先进的设备结合了先进的光学投影和高分辨率的掩蔽系统,以卓越的精度和高通量成像和产生错综复杂的图桉。1500利用四个高分辨率成像系统,根据各种应用要求创建不同的投影目标。这个单元可以处理直径可达12英寸的晶片,并以极高的精度将线宽降低到0.5微米。此外,ULTRATECH 1500设计用于晶片到晶片的注册,从而消除了运行到运行的注册错误。1500有一台大容量、自动曝光机,配备x、y级和两台电机,用于旋转和高度调节。这样可以实现晶圆移动的完全自动化,从而提高吞吐量并缩短曝光时间。此外,ULTRATECH 1500具有先进的标本级精度校准和测试工具,因此可以快速调整到半导体晶片中的不规则性。1500能够处理多种图像格式,如多层、正向和负向模具、二进制文件格式、基于密度的打印以及预定义的形状。它还允许各种图像处理功能,如镜像、缩放、排列、光学变焦和图像旋转。ULTRATECH 1500的曝光资产配备了8通道俯仰控制、高输出光源以及用于执行低层调整的集成装饰模块。它还支持各种曝光时间和阶段的单一和多重曝光模式。总的来说,1500是一个可靠和准确的工具,以创造高质量的半导体元件具有卓越的精度和可靠性。此型号的高级特性和高吞吐量使其成为各种应用程序的理想选择。
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