二手 ULTRATECH 1500 #9303089 待售
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ULTRATECH 1500是一种功能强大且高度精确的晶圆步进器，用于半导体生产。它被设计成通过将晶片暴露在光源上，从而在晶片表面上产生图桉，以极高的速度和精度精确地加工晶片。它可以用于制造完全集成的电路，在同一过程中具有高精度和复杂性。1500由步进平台和光刻控制单元组成，连接到步进，将图像传送到晶圆上。它包括一个预设的对准设备，允许结构精确对准晶圆，以便产生高度详细和准确的模式。它还带有焦点和步进对齐器，这样模式的焦点和大小是准确的。对准精度优于0.1微米，图桉尺寸精度可优于0.5微米。这使用户能够轻松创建复杂而小的电子电路。ULTRATECH 1500配备了超高分辨率稳定光学系统，有助于最大限度地减少由于晶圆地形和热效应造成的失真。光学单元可以将晶片曝光到10-20 mJ/cm2的能量，这比竞争激烈的设备要大得多。晶片步进器还具有自动停止和曝光控制功能,可确保步进器不会过度曝光或损坏晶片。1500在维修保养程序方面也非常先进。它需要最少的人工干预,使制造商能够提高生产效率并减少停机时间。它配备了自动故障检测等先进的维护功能，配有维护指令和自我诊断，能够快速准确地检测和诊断错误。总体而言,ULTRATECH 1500是一种功能强大且高度先进的晶片步进器,能够以惊人的速度和精度处理晶片,帮助制造商生产高精度和复杂的集成电路。它具有超高分辨率光学机器、自动停止和曝光控制、先进的修理和维护程序以及自我诊断系统等一系列功能，可以帮助提高晶圆的生产效率。
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