二手 ULTRATECH 1500 #9390404 待售

ULTRATECH 1500晶圆步进器（Wafer Stepper）是半导体工业中使用的一种机器，用于在敏感晶圆上将图样从光掩模或标线精确地传输到IC的矩阵。这是一台先进的多层机器，内置步进控制系统，石英照明，稳定的X/Y还原扫描仪。1500具有在两个遮罩层上具有0.25微米特征的图像功能。ULTRATECH 1500利用带有准直镜的石英灯确保晶圆的精确曝光。对光源进行校准，使其与光掩模芯片阵列的精确尺寸和IC的特征尺寸相匹配。标线被放置在步进器中，晶片被送入步进器中，然后在石英灯投射到下面的同时进行扫描。扫描完成后，晶圆就可以进一步蚀刻和金属化形成电路。1500的步进控制系统可以配置为尽可能最快的生产速度,最大限度地减少产品产量损失并确保IC的准确放置。它带有一组复杂的可编程命令来自动执行步进器的操作以实现可重复的结果。照明和准直器组合提供亚微米精度和可重复性，而噪声抑制消除振动误差。这样可以确保最高级的定位和线宽控制。ULTRATECH 1500是一种多用途的设备，适用于多种生产过程，如印刷、蚀刻和金属化。它具有用于简化编程和操作的直观用户界面。步进器可以很容易地进行调整，以获得更高或更低的放大倍率和精确的光掩模标线成像。1500配有辅助辅助配件、内置对准标记和凸轮传感器,可提高对准精度和可重复性。ULTRATECH 1500稳定、可靠、准确，在半导体生产行业中作为强大的器件脱颖而出。综上所述，它是一种有效的晶圆步进器，提供卓越的还原成像、准确且可重复的光掩模图样传输，并提高了吞吐量。