二手 ULTRATECH 1500 #9399241 待售
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ULTRATECH 1500是一种用于半导体器件制造的高精度和超精度晶圆步进器。它旨在提供优于晶片的晶片和用于掩蔽配准的晶片,并为当今最复杂的微芯片设计提供卓越的光学覆盖精度和稳定性。1500通过采用先进光学、运动控制、运动力学和软件技术的独特组合，实现了先进设备制造所需的高精度和超精度。先进的光学器件包括一个锚定光栅级，通过使用获得专利的离轴成像设备，实现高精度、可重复的基板定位和连续、依赖于曲率的图像校正。该系统还采用了集成的自动聚焦和自动校正功能，以保持高晶圆到晶圆和晶圆与不断变化的基板表面的掩蔽配准精度。ULTRATECH 1500利用最先进的运动控制和力学技术，实现高精度、重复性和速度，同时做出尽可能小的机械运动。这包括使用具有极低摩擦和极低温度灵敏度的高精度直线电动机,这些电动机可提供高重复性和高速度,以确保最佳吞吐量。步进器还结合了基于专有运动控制算法的高精度双驱动运动控制单元和一台高性能伺服电动机机器，能够实现极其精确和平滑的运动。1500因其独特的算法和软件技术组合而与其他晶圆步进器区分开来,从而实现了更高效的模式操作。例如，ULTRATECH 1500包括其内部开发的利用自己的空间滤波技术来减少模式噪声污染和量子噪声影响的高密度模式化软件，以及在生产过程中将步进器与其他设备同步的专有同步能力。1500还与顶级流程自动化软件集成，允许用户支持高端功能控制，提高机器吞吐量，实现在线监控和改进。所有这些高度复杂和高性能的技术都有助于确保一流的项目到项目迭加精度和过程精度。ULTRATECH 1500正在为晶圆步进器设定行业标准。它结合了先进的光学、运动控制和机械技术,以及强大的软件技术,为用户提供了高性能、低成本和改进的工艺,以生产当今最复杂的半导体器件。
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