二手 ULTRATECH 2244i Series #293628682 待售

ULTRATECH 2244i系列是为最先进的光刻工艺而设计的最先进的晶圆步进器。它具有高度可靠的全尺寸晶片级，可以处理200毫米的最大晶片尺寸。该系统通过其先进的单轴扫描仪设计提供了卓越的准确性和可重复性。利用0.74 NA投影光学器件，两级扫描仪提供高分辨率和高速扫描，光束定位精度高达1纳米。ULTRATECH 2244i还能够扫描不同的曝光场大小和曝光时间，使其适合各种光刻工艺。ULTRATECH 2244i还利用其先进的光学器件提供各种扫描模式，包括步进重复、连续线路和区域光栅扫描。它还自动化镜头对准、曝光和变焦设置，以帮助确保一致和可重复的结果。该系统采用用户友好的控制面板,配有10英寸彩色触摸屏界面,显示直观的图形用户界面。这允许快速设置大量扫描和曝光参数、批处理和存档曝光设置。用户还可以创建曝光配方并将其存储在扫描仪的库中。ULTRATECH 2244i还提供了许多流程支持工具,包括多种背面处理模式、自动聚焦识别和对齐精度控制。它与ULTRATECH过程控制软件完全兼容，提供额外的过程控制和模拟功能。此外,ULTRATECH 2244i还配备了先进的安装机器人模块,可实现快速高效的晶圆处理。它还有一个可选的洁净室，用于有效的污染物保护系统。总而言之,ULTRATECH 2244i为用户提供了一个功能强大且准确的光刻工具。