二手 ULTRATECH 2244i #293761742 待售

ID: 293761742
晶圆大小: 8"
优质的: 2007
Stepper, 8" GENCOBOT Robot 2007 vintage.
ULTRATECH 2244i Wafer Stepper是一种综合性的光刻设备,具有先进的功能,能够进行精确的光刻生产。该系统非常适合光掩模对准、抗蚀层曝光和曝光后烘烤。它是一种先进的步进器,可提供卓越的性能,并具有精确的覆盖和定位。该设备具有舞台配置,提供卓越的精度和动态性能,并具有较高的生产吞吐量。Motorized XY stage、先进的motorized on-axis Z控制器和on-axis focus在最具挑战性的步骤中提供精确的控制和导航层。粗细的Z和轴上Z电动机以及柔性的舞台运动系统能够对过程进行精确的控制。2244i机的电子设备对复杂的多步光刻提供了有效的控制。该工具的高速串行通信接口支持专用的运动控制功能,并允许计算机和资产本身之间快速交换数据和命令。集成前端控制器使得ULTRATECH 2244i是一个易于编程的模型。它包括允许用户在单个计算机设置中运行生产的功能,从而消除了额外的自动校正操作。通过利用设备的综合对准和定位功能,用户可以在过程中获得更好的准确性和可重复性。为了获得可靠的产品性能,2244i配备了实时可靠的视觉系统,可在对准或曝光后烘烤过程中立即检测到任何污染。这样可以确保过程满足工程要求。该单元还包括一个过程控制机,用于监控关键的刀具参数,如转盘温度、辐射强度和灯的状况,以确保最佳处理结果。ULTRATECH 2244i资产旨在提供高吞吐量、高精度、高一致性的先进光刻技术。此模型非常适合中批量生产,也非常适合空间有限或过程困难的用户。高度计算机化、集成化和可定制的2244i设备可确保每个应用程序的卓越性能。
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