二手 ULTRATECH 2244i #9182056 待售

ULTRATECH 2244i晶片步进器是一种精密光刻工具，为成像晶片提供无与伦比的精度水平。这种用途广泛的设备具有一个步进和重复显微镜与准分子激光蒙版到晶圆对准和高分辨率成像的精密步进。2244i利用蔡司光学系统、先进的光光设计和专用组件,能够产生最复杂的图样,图像分辨率低至20 nm。该设备符合所有行业标准,为全天候生产晶圆应用程序提供可靠的操作。ULTRATECH 2244i配置了一个直接驱动的电动掩模级,用于精确和可重复的模式对齐和迭加,以及一个用于晶圆级的精确运动单元,可确保高度自动化和可重复性。该平台采用直驱式电动机驱动台式双对直线运动执行器，能够实现"弹簧式"操作、快速精度和可重复性的精密运动。此外,还包括"正面"对齐扫描仪,以确保正确的图像对齐和对准。2244i利用高端光学元件,包括优化成像光学器件、反射器、光圈和冷凝器,以确保卓越的性能和准确性。这台机器的焦距为160毫米,工作距离为254毫米,可与各种晶圆尺寸和几何形状兼容。光学工具配备了一个集成的稳定光路，以确保环境波动的影响最小。包括一个集成的激光对准资产，用于精确对准和覆盖晶片视网膜上的图样，扫描孔径小至2微米。该型号基于PC、用户友好的数字控制设备能够精确调整所有成像参数,包括曝光时间、激光功率和快门速度。这确保了整个基板的卓越图像保真度和可重复性。总体而言,ULTRATECH 2244i Wafer Stepper是一种先进的光刻工具,专为执行一系列具有精确和可重复性的应用而设计。它的多用途配置非常适合在基板上创建复杂的图样，提供精湛的精度和图像分辨率。